OPTICS应用案例系列
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42+86 (0755) 2967 5435 • 爱特蒙特光学 (深圳) 有限公司软镀膜的成本是由低成本的沉积设备、快速循环时间和便宜的浮法玻璃基片来保证,但是由于密封和环形组件,操作成本很高。成本与批量比具有渐近趋势:在小批量的情况下昂贵,只有在几十个 1 英寸产品或少量 2 英寸或尺寸更大产品制作之后才会稳定下来.硬镀膜硬镀膜薄膜是利用等离子沉积过程制作而成的,与软镀膜相比,它具有多个优势。等离子沉积过程是用计算机严格控制的,它甚至可以实现分层,拥有良好的环境适应性和更好的性能。例如,作为波长的一个函数,硬镀膜的透光率不仅更加一致,而且通常高于软镀膜的透光率.如图10所示, 硬镀膜在可见光谱和紫外线中具有超过 90% 的透射率。另一方面,软镀膜无法达到 90% 的透射率,并且性能在紫外线附近显著下降。此外,起始和截止转换还有一些改进。软镀膜有个渐进的过渡,从没有透射率过渡到最大透射率,而硬镀膜的过渡更陡.应用范例范例1:配色成像黑白 相机无法区分不同颜色的本质。然而,添加的彩色滤光片大大提高了物体之间的对比。给定的彩色滤光片将减轻相同颜色的物体,并加深相对颜色的物体。请参考例子,使用黑白相机拍摄两颗红色和两颗绿色药丸。图11a - 11d 显示检验中的样品的实际图像和使用彩色滤光片各种图像。图中清楚可见,若没有使用滤光片(图11b),黑白相机无法区分红色和绿色。在工厂车间检查这些药丸是不可能的。另一方面,当使用红色滤光片(图11c)时,由于增加图像的对比度,物体的相对颜色(即绿色药丸)显示为灰色,可以很容易地从红色药丸中辨别出来。相反的,当使用绿色滤光片(图11d)时,红色药丸显示为灰色。范例2:拉曼光谱拉曼光谱应用的结果可以通过使用一些选择的滤光片大幅提高:激光带通、陷波片,或激光长波通为了达到最佳效果,使用窄至1.2nm和光密度OD 6.0的带宽滤光片。激光带通滤光片放置在激光和样品之间的光路内。光学滤光片图 11b: 增强对比度:没有使用滤光片图 11c: 增强对比度:红色滤光片图 11d: 增强对比度:绿色滤光片图 11a: 增强对比度:检验中的样品表 1: 软镀膜和硬镀膜的优势比较图 10: 软镀膜和硬镀膜的性能比较430-10420-10405-10400-10365-10340-10320Wavelength (nm)Soft CoatingTransmission (%)0102030405060708090100340360380400420440430-10420-10405-10400-10365-10340-10320Wavelength (nm)Hard CoatingsTransmission (%)0102030405060708090100340360380400420440比较软镀膜和硬镀膜技术的性能属性软镀膜硬镀膜备注工作寿命1 至 5 年无限期(在正常的操作条件下)软镀膜更容易受环境因素影响,尤其是高湿度。这些工作寿命是以典型的办公环境为背景计算的.温度稳定性每波长每百万平均 50 个部件每波长每百万不到 5 个部件软镀膜要求温度控制在±15°C,1nm的滤光片容差。硬镀膜在1550nm时不到1 pm/°C,远远低于 1ppm/λ.制造可重复性低高完全自动的硬镀膜生产过程可提高重复性.透射波前误差能达到小于 λ/4 PV 值能达到小于 λ/4 PV 值硬镀膜基本有 TWE 值,其等于无镀膜光学元件的值。软镀膜在层压过程后必须经过大量抛光.生产成本如果大批量生产,成本降低由于重复性和自动化过程,成本降低硬镀膜大批量的价格可能等于或低于同等数量软镀膜的价格.

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